IR测量仪
4000/ 4005X系列
2U半尺寸机箱内可搭载2个插槽的单元的
主机
模块插入数量：2
接口：USB / GPIB / LAN / RS232
处理器接口：4通道
数字I/O：8位
4000用 微少电流/超高电阻计模块
电流测量范围：10 fA～3.2 mA
最高 1.5 ms 的高速积分方式电流测量
电压发生：
±200 V （40051/40052）
+300 V, -100 V （40053/40054）
+2000 V, -200 V （40057）接触检查：0～100 pF/0.1 pF 分辨率
处理器接口：INDEX, EOM, HI, GO, LO, NC
IRメータ能够通过将搭载了2个插槽的小型机箱“4000”与1通道的IRメータ单元“40051/40053/40057”以及2通道的IRメータ单元“40052/40054”组合安装，实现1台设备1至4通道的配置。
近年来，在零部件市场的生产线上，提高产品制造和检测的节拍已成为不可或缺的需求。因此，对生产线专用测量仪器的要求也日益提高，各公司不断要求其具备最适合自身生产线的各项功能，例如加快测量速度、多通道化以及节省空间等。
通过模块化，这款IR测量仪能够满足这些客户的需求。
特点
4000（2槽位・模块化复合测器主框架）
4000 2 插槽模块化测量仪是一款2U半尺寸的主机，可插入2个0.7U半尺寸的模块。
配备USB/GPIB/LAN/RS232接口，可连接到个人电脑或可编程控制器，用于构建电子元件的开发评估和生产线检测系统。
通过4通道处理接口，可实现与自动化设备的同步控制，并根据模块测量/判定的结果对设备进行分选。
在检测线上，可直接在系统机架中更换模块，通过前面板USB进行运行确认等，轻松完成系统设置和维护。
此外，配备5 V/200 mA电源的8位数字I/O，可实现简单的继电器控制和任意信号生成。
40051/40052/40053/40054/40057（IRメータ・单元）
40051/40052/40053/40054/40057 IR 测量单元是安装在 2 插槽模块化测量仪 4000 上使用的模块。
40051/40053/40057 为 1 通道，40052/40054 为 2 通道的 IR 测量仪，是适用于测量电容等大容量样品电流的最佳积分式电流计。
电流测量范围为 10 fA 〜3.2 mA，40051/40052 为 ±200 V/3.2 mA，40053/40054 为 +300 V, -100 V/3.2 mA，40057 为 +2000 V/0.8 mA, ±200 V/3.2 mA 的直流电压发生器。因此，可测量 312 Ω〜3×1017 Ω 的电阻。
为了判断测量高电阻样品时可能出现的问题，配备了通过电容（C）测量进行接触检查的功能（C.CHK）。
此外，可将用于控制生产线自动化设备的处理器接口信号直接输出至 4000 的后部连接器。
1频道 IR 测量仪/单元
40051（电压发生范围：1 mV ～ ±200 V）
40053（电压发生范围：1 mV ～ +300 V / -100 V）
2频道红外测温仪・单元
40052（电压发生范围：1 mV ～ ±200 V）
40054（电压发生范围：1 mV ～ +300 V / -100 V）
1频道 IR 测量仪/单元（2000V 输出）
40057（电压产生范围：±200 V, +50 V ～ +2000 V）
应用程序
APD ROSA的特性评估
介绍使用4000+40052x2单元的4ch APD ROSA的I-V特性测量示例。通过“HIG1”命令将输出端子连接至GND，仅需1根输入TRIAX电缆即可进行VSIM测量。
40052的电压发生电路采用与我们SMU相同的方案，无过冲现象，通过高速响应的恒流方式电流限流器，可对器件施加压力较小的测量。
在0 V～200 V的电压施加下，限制电流为100 μA，可测量10 fA～100 μA的
暗电流特性。
电压输出：0～±200 V (最小分辨率1 mV)
电流测量：0～±3.2 mA (最小分辨率10 fA)
电流限制器：10 μA～3.2 mA
使用扫描仪的多通道测量
扫描仪3100、微电流卡31001J和高压卡31001G用于在40051/40053/40057上测量大量DUT时的连接图。将40051/40053/40057的LO端子31001J的LO端子连接起来。这样可以始终使未测量的通道的DUT处于充电状态。
31001G通过将DUT连接到R端子，VS与DUT之间会串联10kΩ电阻，从而实现降噪以及防止DUT短路时的过流保护。最大电压为1000V。
此外，还可以使用多重关闭模式将不良的DUT从测试中排除，从而继续测试。
| 型号 | 4000+40051/40052 | 4000+40053/40054 | 4000+40057 | ||
| 频道数 | 1～4 | 1～2 | |||
| 桁数、最大表示 | 5½桁、319999 | ||||
| 浮动电压 | 200 V | 300 V | 0 V | ||
| 测量 | 电流 | レンジ | 300 pA～3 mA | ||
| 最小分解能 | 1 fA | ||||
| 测量不确定度 | 0.3 % | ||||
| 输入偏置电流 | 100 fA以下 | ||||
| 输入电阻 | 50 Ω/1 kΩ | ||||
抵抗（演算） | 测量范围 | 312 Ω～316 Ω | 312 Ω～317 Ω | ||
| レンジ | (300 pA～3 mA) | ||||
| 测量不确定度 | 0.35 % | ||||
| 发生 | 电压 | 范围 | -200 V～+200 V | -100 V～+300 V | -200 V～+2000 V |
| 最小分解能 | 1 mV | ||||
| 发生概率 | 0.03 % | 0.03 ％（200 V) 0.2 % (2000 V) | |||
| 电压产生范围 | ±30 V/±3.2 mA ±200 V/±3.2 mA | ±30 V/±3.2 mA +300 V -100 V/±3.2 mA | ±30 V/±3.2 mA ±200 V/±3.2 mA +50～+2000 V/0.8 mA | ||
| 电压限制器 | 10 μA～3.2 mA 分解能 1 μA | 10 μA～3.2 mA 分解能 1 μA | |||
| 扫地 | 固定、线性 | ||||
| 测量功能 | 积分时间 | 1 毫秒/2 毫秒/5 毫秒/0.5 PLC/1 PLC/100 毫秒/200 毫秒 | |||
测量速度（IT2 ms） TRG-INDEX（无CHK） TRG-INDEX（含CHK） |
2.6 4.1 | ||||
| 数据与内存 | 10000数据/1通道 | ||||
| 序列 | 通过固定扫除 | ||||
| 接触检查 | 每次测量执行 0.1 pF～100 pF、500 kHz/315 kHz、执行时间1.5 ms | ||||
| 演算 | RM、COMP | ||||
| 其他功能 | 4通道 同步/异步 JIG容量开放补偿 | 2频道 同步/非同步 JIG容量开放补偿 | |||
| INT CAL | 有 | ||||
| 接口 | GPIB、USB、RS232、LAN | ||||
标准配件
4000
| 名称 | 型号 | 数量 |
| 电源线（JIS 2 m） | A01402 | 1 |
配件（另售）
4000
| 名称 | 型号 |
| 面板安装套件（2U半） | A02039 |
| 面板安装套件（2U半双） | A02040 |
| 机架安装套件（JIS 2U半高） | A02263 |
| 机架式套装（JIS 2U半双） | A02264 |
| 机架式套装（EIA 2U半高） | A02463 |
| 机架式套装（EIA 2U半双） | A02464 |
4005X系列
| 名称 | 型号 |
| TRIAX-TRIAX电缆 | A01009 |
| 高耐压TRIAX-TRIAX电缆 | A01239 |
| TRIAX-矿工电缆 | A01010 |
| TRIAX-BNC电缆 | A01011 |
| TRIAX・J-TRIAX・J中继适配器 | A04201 |
| TRIAX-J-BNC-P 1 连接（内-外） | A04202 |
| TRIAX-J-BNC-P 2 连接（外-外） | A04203 |
| BNC-J-TRIAX-P 1 连接（外-内） | A04204 |
| BNC-J-TRIAX-P 2 连接（外-（内+外）） | A04205 |
| TRIAX-J-BNC-P 3 接口（（内+外）-外） | A04206 |
| BNC-J-M-P | A04207 |
| TRIAX-J 接收器 | A04208 |
| 高耐压安全电缆 红色 1.5 m | CC010010-150 |